流量控制器的应用中IST流量传感器的作用
IST-AG通过特殊的薄膜工艺,将高精度加热器,温度传感器或电堆封装在单一芯片内,构成流量测量的主要传感单元(Figure 2) ,通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景,天津精密气体流量计,薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,精密气体流量计价格,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中,免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护,具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中,质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路,而进行直接测量,提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度,在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式,给气路结构优化创造更大的空间。
质量流量控制器在光学镀膜中的应用
人们常说的热式气体质量流量计与光学镀膜是什么关系呢?在真空离子镀膜中,所选用不同气体所生产出来的,液态气体色泽也会不一样,氩气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时,工业气体充入氮气可生产出银色和黄色的产品而想要生产出黑色或灰色的产品,则需要加入气体加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。
热式气体质量流量控制器
光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。光学薄膜在高真空度的镀膜腔中实现。常规镀膜工艺要求升高基底温度(通常约为300℃);而较***的技术,如离子辅助沉积(IAD)可在室温下进行。IAD工艺不但生产比常规镀膜工艺具有更好物理特性的薄膜,而且可以应用于塑料制成的基底。
气体质量流量控制器
热式气体质量流量计在很多行业中都广泛使用,它具有体积小、数字化程度高、安装方便、测量准确等优点。可用于:环保行业、化工行业、冶金行业、电力行业等行业。还有管道燃气;通用系统;沼气;煤气;液化气;锅炉预热空气。
我们通常称的质量流量控制器,它的全称是热式气体质量流量控制器,英文:Mass Flow Controller(简称MFC);而质量流量计的全称是热式气体质量流量计,英文名:Mass Flow Meter(简称MFM)。它们是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。
松盛测控本体带数显流量控制器/流量计
质量流量计,是一种计量和监测的仪表;而质量流量控制器,不但具有质量流量计的功能,更重要的是:它能够自动地控制气体的流量,也就是说,用户可根据情况的需要,来进行流量的设定,流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离当初的设定值。简单来说,质量流量控制器就是一个稳流装置,精密气体流量计报价, 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。
所以总的来说,一般情况下,精密气体流量计哪家好,仅对气体流量进行计量或监测的话,用质量流量计就能够满足要求;而如果是需要对气体流量进行控制的话,则需要用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。